半干法脫硫工藝——噴霧干燥法（Spray Dryer Absorber，簡稱SDA）：
  煙氣自頂部蝸殼進入脫硫塔，自塔中段離開，在脫硫塔內(nèi)，堿性吸附劑漿料自頂部蝸殼中央高速旋轉(zhuǎn)的霧化器進入脫硫塔，吸收漿液被霧化器霧化成細小霧滴，通過與煙氣充分混合、反應，去除煙氣中的SO?。霧化器的轉(zhuǎn)速可達15000~20000rpm，轉(zhuǎn)速與霧化效果及脫硫效率成正比，脫硫效率在85~95%左右。相比傳統(tǒng)的濕式洗滌法，噴霧干燥法不需要龐大的占地面積，不需要復雜的廢水和污泥處理設備，不需要高耗能的尾氣消白處理，廣泛應用于垃圾焚燒發(fā)電、燒結球團、水泥焦化等行業(yè)。噴霧干燥法的脫硫劑有熟石灰（Ca(OH)?）、生石灰（CaO）、氧化鎂（MgO）、蘇打（Na?CO?）和小蘇打（NaHCO?）。采用生石灰作為脫硫劑的噴霧干燥法的反應如下：
        CaO+H?O=Ca(OH)?
        Ca(OH)+SO?=CaSO?+CO?
        CaSO?+?O?=CaSO?

半干法脫硫工藝——循環(huán)流化床法（Circulating Fluidized Bed，簡稱CFB）：
  煙氣自底部進入脫硫塔，自塔頂離開，在脫硫塔內(nèi)有一文丘里加速段，堿性吸附劑由此以漿料或粉劑的形式進入脫硫塔，通過反復循環(huán)形成穩(wěn)定的流化床床料，床料始終處于一種激烈的湍流狀態(tài)，利用這種劇烈的氣-固兩相傳熱、傳質(zhì)作用，極大地增加了脫硫劑與煙氣的反應時間，去除煙氣中的SO?。未完全反應的脫硫劑和脫硫灰一起，隨煙氣進入脫硫塔下游的布袋除塵器，與氣流分離并被循環(huán)至脫硫塔內(nèi)，脫硫效率與脫硫劑的循環(huán)次數(shù)成正比，脫硫效率在85~93%左右。相比噴霧干燥法，循環(huán)流化床法的占地面積進一步降低，廣泛應用于垃圾焚燒發(fā)電、燒結球團、水泥焦化等行業(yè)。循環(huán)流化床法的脫硫劑有熟石灰（Ca(OH)?）和生石灰（CaO），反應方程與噴霧干燥法基本相同。

半干法脫硫工藝——爐內(nèi)噴鈣尾部增濕活化法（簡稱LIFAC）：

  爐內(nèi)噴鈣尾部增濕活化法起源于爐內(nèi)噴鈣法，為滿足超低排放要求，采用爐內(nèi)噴鈣法的鍋爐通常在出口進行噴霧，此即為“爐內(nèi)噴鈣尾部增濕活化半干法脫硫工藝”，效率能在爐內(nèi)噴鈣法的基礎上提高10~20％。